超純水,是一般工藝很難達到的程度，采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法

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純水設備，目前的主要工藝流程 　　

        1.預處理----復床 ----混床---拋光樹脂　　
        2.預處理----反滲透---混床---拋光樹脂　　
        3.預處理----反滲透----CEDI膜塊----拋光樹脂

中國國家實驗室分析用水標準（GB6682-92）《分析實驗室用水規格和實驗方法》：　　

    指標名稱一級水二級水三級水　　
    1級水>10MΩ；2級水>1MΩ；3級水>0.2MΩ 　　
    PH值范圍（25℃） - - - - 5.0-7.5 　　
    比電阻MΩ.cm@25℃> 10 1 0.2 　　
    電導率（25℃）us/cm≤ 0.1 1 5 　　
    可氧化物[以O計]mg/L -- 0.08 0.40 　　
    吸光度（254nm,1cm光程）≤ 0.001 0.01 -- 　　
    二氧化硅（mg/L） 0.02 0.05 -- 　　
    蒸發殘渣（mg/L） -- 1.0 2.0

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